หัววัดความชื้นในอากาศ (HUMIDITY SENSOR)
TMEC นำเสนอหัววัดความชื้นในอากาศ (Humidity Sensor) ซึ่งผลิตโดยเทคโนโลยี CMOS มาตรฐาน ที่สามารถผลิตได้เพียงแห่งเดียวในประเทศไทย โดยคุณสมบัติและคุณภาพของอุปกรณ์ที่ผลิตโดยเทคโนโลยี CMOS นี้ จะมีความทนทาน ความแม่นยำ และมีอายุการใช้งานที่ยาวนานกว่าอุปกรณ์ที่ใช้เทคโนโลยีที่ต่ำกว่า รวมถึง TMEC สามารถออกแบบอุปกรณ์ให้เหมาะสำหรับการใช้วัดค่าความชื้นสัมพัทธ์อากาศ หรือสามารถปรับใช้วัดค่าความชื้นแบบต่างๆได้ตามความต้องการของผู้ใช้งาน ทำให้เหมาะสมกับสภาพการใช้งานในหลายๆรูปแบบภายในประเทศ ซึ่งโดยส่วนใหญ่นั้น จะต้องมีความทนทานกับสภาพของความชื้นและอุณหภูมิที่สูงอยู่ตลอดเวลาและเป็นระยะเวลายาวนานนั่นเอง
TMEC พร้อมจำหน่ายอุปกรณ์หัววัดความชื้นในอากาศ (Humidity Sensor) ทั้งในรูปแบบเวเฟอร์ (Wafer) แบบชิพ (Chip) และแบบโมดูล (Module) รวมถึงพร้อมให้คำแนะนำแก่ผู้ใช้งานในทุกด้าน เพื่อปรับให้เหมาะกับสภาพการใช้งานอย่างแท้จริง
Humidity Sensor : Wafer level
TMEC มีการผลิต Humidity Sensor : Wafer level ได้ 2 แบบ ดังนี้
1. แบบหัววัดความชื้นแบบ capacitive เดี่ยว
micro-interdigitate aluminum electrode เคลือบด้วยซิลิกอนไนไตรด์เพื่อการปกป้อง มีการตอบสนองต่อความชื้นแบบ exponentialจึงเหมาะสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสูงตลอดเวลา เนื่องจากไม่มีชั้นดูดซับความชื้นจึงทำให้การตอบสนองต่อความชื้นมีความไวสูง (high response) และ recovery time สั้น
2. แบบหัววัดความชื้นแบบ integrated with หัววัดอุณหภูมิ และ ไมโครฮีตเตอร์
รวมเอาคุณสมบัติข้างต้นเข้ากับการวัดอุณหภูมิและการให้ความร้อนแก่ตัวเซ็นเซอร์ จึงเหมาะสำหรับการนำไปประยุกต์ใช้งานการวัด dew point
Features
· เวเฟอร์ขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 6 นิ้ว
· die size ~ 1.8 * 2.0 mm2 (~3300 dies maximum)
· die ที่เสียจะถูกทำเครื่องหมายด้วยการแต้มหมึก
· minimum yield ที่ยอมรับได้อยู่ที่มากกว่า 90%
· เกรดของตัวชิบ (range ของค่า C ตั้งต้น) จะแบ่งเป็นสามเกรด A B C และจะมี coordinate map กำกับคู่ไปกับแผ่นเวเฟอร์แต่ละแผ่น (ตัวที่เสียจะถูกแสดงบน map นี้ด้วย)
· ส่งงานให้เป็นแบบแผ่นเต็ม หรือ แผ่นที่ saw แล้ว (ยึดบนบลูเทปพร้อมโครง)
Specification
· capacitive sensor: 10 – 100%RH (conversion to capacitance is on the datasheet)
· temperature sensor: -20 to 80°C
Data sheet : Spec_001A.pdf , Graph1.pdf
Application : Package_Circuits.pdf
